三維形貌儀是采用自主核心的技術研制開發并成功推出的高精密測量儀器。儀器采用白光干涉原理，測量樣品表面微細形狀分布。是綜合運用光電子技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工技術、數字信號處理技術、應用光學技術、精密控制技術、計算機高速采集和控制技術、高分辨圖形處理技術等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量。可以快速測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應用范圍廣泛。儀器分高精度型(PR06系列)和標準型(PR05系列)，滿足用戶不同級別的測量需求。
 

　　工作原理：
 

　　三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
 

　　系統構成：
 

　　光學照明系統　采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm
 

　　光學成像系統　采用無限遠光學成像系統、由顯微物鏡和成像目鏡組成
 

　　垂直掃描系統　采用閉環反饋控制方式驅動顯微物鏡垂直移動、移動范圍0-500μm、位置移動精度 0.1nm
 

　　信號處理系統　計算機和數字信號協處理器組成、采集系列原始圖像數據使用數字信號協處理器完成數據解析
 

　　三維形貌儀主要特點：
 

　　包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式
 

　　試用于幾乎所有的表面
 

　　透明，不透明，反射光強等多種材料。
 

　　垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞。
 

　　脆性的材料，軟材料，柔性材料表面。
 

　　尖銳的，堅硬的，磨損的表面。
 

適應性強
 

　　白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護。可以用于各種環境的實驗室，甚至工業生產環境。
 

　　接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的結合。
 

　　接觸式輪廓儀針尖掃描采用的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用別光學參考平臺能使長程掃描范圍到150mm。
 

　　掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
 

　　針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態范圍(大至500μm)及亞納米級垂直分辨率　(小0.1nm )。
 

　　軟件設置恒定微力接觸(0.1 to 100[mg])。
 

　　高精度
 

　　的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm(光學非接觸式)。
 

　　對周圍環境和光源的強適應性。
 

　　沒有機械過濾。
 

　　寬闊的垂直測量范圍
 

　　多種選擇光學頭及接觸式。
 

　　縱向掃描范圍 300 to 3900 μm。
 

　　圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現在一幅圖像內。